研發人員正在調試離子注入機。圖源：新華社，中國電科供圖

6月29日，據中國電子科技集團消息，該集團旗下中電科電子裝備公司已實現自產離子注入機28奈米工藝製程全覆蓋，對中國大陸保障積體電路製造產業在成熟製程領域的供應鏈安全。

離子注入機是晶片製造中的關鍵裝備。在晶片製造過程中，需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量並注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的晶片製造設備。

當前，28奈米是晶片應用領域中覆蓋面最廣的成熟製程。據介紹，電科裝備連續突破光路、控制、軟體等關鍵模組的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現了28奈米工藝製程全覆蓋，保障中國大陸國產晶片生產製造。

據瞭解，作為國內最早從事離子注入設備研製及產業化的企業，電科裝備已具備從產品設計到量產應用的完整研製體系，產品涵蓋邏輯器件、記憶體件、功率器件、感測器等工藝器件，百台設備廣泛應用於國內各大集成電路先進產線，累計流片2000萬片，有力提升中國大陸晶片產業鏈供應鏈韌性和安全水準。

◎來源｜新華社
◎編輯｜歐達善

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